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半導(dǎo)體器件晶圓的生產(chǎn)過程中
,易受外來(lái)物、灰塵粒子、金屬離子等外來(lái)物的影響而破壞表面結(jié)構(gòu),這種產(chǎn)品特性也決定了其制造過程中必須有潔凈度的要求。所以潔凈室至于半導(dǎo)體行業(yè)是非常重要的存在。潔凈室的潔凈度控制不好,會(huì)導(dǎo)致空氣中的含塵量過高半導(dǎo)體器件晶圓的生產(chǎn)過程中
潔凈室最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度
設(shè)計(jì)指標(biāo)及參數(shù)要點(diǎn):
1. 因其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃
2. 生產(chǎn)大環(huán)境的空氣潔凈等級(jí)為千級(jí)(ISO 6級(jí));
3. 光刻等特殊區(qū)域的空氣凈化等級(jí)十級(jí)(ISO 4級(jí))
4. 規(guī)范要求空氣凈化等級(jí)(ISO 1-4級(jí))的凈化室采用垂直層流:上技術(shù)夾層(送風(fēng)靜壓箱)中的空氣通過FFU(風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組)輸送至潔凈生產(chǎn)層,氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術(shù)夾層
此外Fab工廠會(huì)使用大量的易燃易爆
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【項(xiàng)目地點(diǎn)】:江蘇 南通
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:南通瑞翔新材料有限公司(以下簡(jiǎn)稱:瑞翔新材)是專業(yè)從事新能源材料研發(fā)
、制造、銷售的高新技術(shù)企業(yè),注冊(cè)資本4.678億元地址:上海市虹橋商務(wù)區(qū)富力環(huán)球中心
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