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隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)
、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求,工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)
、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求,工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志
六
由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求特別高
生產(chǎn)廢氣排放源及組成表
對酸性氣體
對于有機(jī)廢氣采用吸附
七、半導(dǎo)體凈化車間電氣工程
空調(diào)動力電工程:統(tǒng)計總用電量約830KW
動力(鍍鋅線槽)沿墻體及天花敷設(shè)
八、半導(dǎo)體凈化車間弱電系統(tǒng)工程
高清視頻監(jiān)控系統(tǒng)空調(diào)動力電工程:統(tǒng)計總用電量約830KW
動力(鍍鋅線槽)沿墻體及天花敷設(shè)
九、半導(dǎo)體凈化車間智能平臺
潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門
十
設(shè)備產(chǎn)水能力:
RO系統(tǒng):一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h(水溫保證在25℃時);二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h(水溫保證在25℃時)
EDI系統(tǒng):EDI產(chǎn)水量≥5m3/h(水溫在25℃時)
終端拋光混床產(chǎn)水能力為:≥5m3/H(水溫保證在25℃時)
;設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)指標(biāo):
終端拋光混床產(chǎn)水水質(zhì)為:≥18.0MΩ.cm(水溫保證在25℃時,測點(diǎn)在拋光混床出口3米內(nèi)
,95%時間)其它技術(shù)指標(biāo)參照我國的電子級水的技術(shù)指標(biāo)(GB11446.1-1977)EW-1
由于設(shè)備用水的級別各不相同,可以在本設(shè)計流程中的某段引出合適的使用點(diǎn)即可
。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)(因金屬管道會析出離子),特別對于圓晶的生產(chǎn),超純水會對額定的離子限值嚴(yán)格,所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證
十一
半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生,主要以酸堿廢水
⑴酸堿廢水
對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi)
⑵含氟廢水
含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法
,即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。⑶有機(jī)廢水
依靠物理法、化學(xué)法很難處理有機(jī)廢水
,通常采用生化法處理。⑷金屬廢水
金屬廢水的處理主要用化學(xué)沉淀法
,廢水中含有危害性很大的一些重金屬和某些類金屬(如砷)。【項(xiàng)目地點(diǎn)】:山西太原
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:CEIDI西遞實(shí)業(yè)作為該項(xiàng)目中生物基新材料研發(fā)綜合實(shí)驗(yàn)樓的工程單位之一
,為其實(shí)驗(yàn)室研發(fā)成果技術(shù)優(yōu)先在園區(qū)內(nèi)實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化提供了強(qiáng)有力的保障【項(xiàng)目地點(diǎn)】:上海 閔行
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:該項(xiàng)目由CEIDI西遞進(jìn)行全方位設(shè)計服務(wù)(平面圖、效果圖
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