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光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無塵室
光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無塵室
近幾年來
一、光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些功能分區(qū):
1.潔凈生產(chǎn)區(qū)
2.管理區(qū)(包括辦公
、值班、管理和休息等)3.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
二
、電子潔凈實(shí)驗(yàn)室凈化標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):根據(jù)電子潔凈室(區(qū))空氣潔凈級別
,不同等級凈化標(biāo)準(zhǔn)如下:① 百級電子潔凈室塵粒(≥0.5μm)最大允許數(shù)為3500每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為0
、微生物最大允許數(shù)浮游菌為5每立方米、沉降菌為1。② 千級電子潔凈室塵粒(≥0.5μm)最大允許數(shù)為350000每立方米
、≥0.5μm塵粒數(shù)為2000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為100每立方米③ 十萬級電子潔凈室塵粒(≥0.5μm)最大允許數(shù)為3500000每立方米
④ 三十萬級電子潔凈室塵粒(≥0.5μm)最大允許數(shù)為10500000每立方米
、≥0.5μm塵粒數(shù)為60000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為1000每立方米、沉降菌為15。
三
、光學(xué)微電子凈化工程換氣參數(shù)1. 換氣次數(shù):十萬級凈化≥15次;萬級凈化≥20次
;千級凈化≥30次2. 平均風(fēng)速:10級
、100級為0.3-0.5m/s3. 噪聲:≤65dB(A)
4. 新風(fēng)補(bǔ)充量:新風(fēng)補(bǔ)充量是總風(fēng)量的10%-30%
5. 照度:300LX
6. 壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
7. 溫度:冬季>16℃
;夏季<26℃;允許波動范圍為±2℃7. 濕度:GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜
,電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
四
、電子潔凈車間實(shí)驗(yàn)室通用結(jié)構(gòu)材料:1. 送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成
,貼凈化保溫有良好效果的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。2. 高效送風(fēng)口用不銹鋼框架
,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。3. 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板
,有防靜電要求的,可選用防靜電型。4. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造
,其特點(diǎn)為美觀
五、西遞電子廠/電子實(shí)驗(yàn)室凈化空調(diào)方案
方案一:目前來說是最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)方案
。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。方案二:相較于方案一,方案二是比較簡單的潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案
。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積,還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房內(nèi),同時還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。方案三:主要用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間,用簡易空調(diào)方案
?div id="d48novz" class="flower left">【項(xiàng)目地點(diǎn)】:江蘇 南通
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:南通瑞翔新材料有限公司(以下簡稱:瑞翔新材)是專業(yè)從事新能源材料研發(fā)、制造
【項(xiàng)目地點(diǎn)】:上海嘉定
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:CEIDI西遞與澤普林固體物料技術(shù)(上海)有限公司(以下簡稱“澤普林”)
【項(xiàng)目地點(diǎn)】:上海長寧
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:西遞公司是上海的一家高新技術(shù)企業(yè),擁有設(shè)計(jì)乙級資質(zhì)
、施工建筑總承包二級資質(zhì)、裝飾裝修二級資質(zhì)【項(xiàng)目地點(diǎn)】:山西太原
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:CEIDI西遞實(shí)業(yè)作為該項(xiàng)目中生物基新材料研發(fā)綜合實(shí)驗(yàn)樓的工程單位之一,為其實(shí)驗(yàn)室研發(fā)成果技術(shù)優(yōu)先在園區(qū)內(nèi)實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化提供了強(qiáng)有力的保障
【項(xiàng)目地點(diǎn)】:上海 閔行
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:該項(xiàng)目由CEIDI西遞進(jìn)行全方位設(shè)計(jì)服務(wù)(平面圖
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