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、壓差、設(shè)備排風等都要按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控，同時對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。以電子萬級無塵室為例，電子制造萬級無塵室相關(guān)技術(shù)指標如下：

1

、電子制造廠萬級無塵室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)、

2

、電子制造廠萬級無塵室溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。

3

、電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流無塵室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

4

、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

5

、電子制造行業(yè)萬級無塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值：補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6、根據(jù)熱

，濕負荷計算確定電子廠無塵室的送風量，保證供給無塵室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

7

、電子制造行業(yè)無塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施