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半導(dǎo)體車間的潔凈度要求通常達(dá)到ISO 1至ISO 8級(jí),甚至更高
。裝修設(shè)計(jì)時(shí)需要確?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">?諝膺^(guò)濾系統(tǒng)半導(dǎo)體車間的潔凈度要求通常達(dá)到ISO 1至ISO 8級(jí),甚至更高
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工程中
1.晶圓制造區(qū)
這里有著最精密的半導(dǎo)體制造工藝
光刻區(qū):要求最高
刻蝕和沉積區(qū):潔凈度要求較高
2.封裝測(cè)試區(qū)
這里適用于高精度芯片封裝和測(cè)試
封裝區(qū):潔凈度要求中等,通常為ISO 5-7級(jí)
測(cè)試區(qū):要求較低,一般為ISO 7-8級(jí)
3.輔助區(qū)
化學(xué)品存儲(chǔ)區(qū):潔凈度要求較低,通常為ISO 7-8級(jí)
設(shè)備維護(hù)區(qū):要求最低,一般為ISO 8級(jí)
4.人員與物料進(jìn)出區(qū)
更衣室和風(fēng)淋室:潔凈度要求中等,通常為ISO 5-7級(jí)
物料進(jìn)出區(qū):潔凈度要求較低,一般為ISO 7-8級(jí)
嚴(yán)格按照工藝要求設(shè)置潔凈室及潔凈區(qū),具體方法是將潔凈室劃分為核心生產(chǎn)區(qū)
也就是說(shuō),潔凈廠房在建設(shè)的時(shí)候
平面布局優(yōu)化設(shè)計(jì):
近年來(lái)廠區(qū)空間足夠的前提下
HVAC系統(tǒng)設(shè)計(jì):
換氣次數(shù):鍵合區(qū)≥60次/h,封裝區(qū)≥40次/h
溫濕度控制:22±1℃
壓差梯度:核心區(qū)>5Pa
空氣處理系統(tǒng):
MAU:配置兩級(jí)預(yù)冷+三級(jí)過(guò)濾
FFU:覆蓋率≥80%,風(fēng)速0.35—0.45m/s
排風(fēng):酸性廢氣處理效率≥99%
工藝支持系統(tǒng):
超純水:電阻率≥18.2MΩ·cm
壓縮空氣:露點(diǎn)≤-40℃
真空系統(tǒng):極限真空度≤10^-3 Pa
特殊工藝區(qū)設(shè)計(jì):
銅柱凸塊區(qū):需配置局部ISO Class 4環(huán)境
3D封裝區(qū):增加惰性氣體保護(hù)(N2純度99.999%)
測(cè)試區(qū):配置RF屏蔽室(屏蔽效能≥80dB)
我們強(qiáng)調(diào)的一站式整體解決方案,就是站在客戶角度思考建廠及運(yùn)營(yíng)的流暢性
,“成本優(yōu)化策略”也一直貫穿在我們的設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中。例如本文提到的分區(qū)設(shè)計(jì)控制,采用"核心區(qū)+普通區(qū)"差異化設(shè)計(jì),普通區(qū)換氣次數(shù)可降至20次/h來(lái)控制成本。材料選擇方面也可以做區(qū)隔優(yōu)化,例如鍵合區(qū)墻面采用不銹鋼,其他區(qū)域用彩鋼板。地坪采用環(huán)氧自流平與局部PVC導(dǎo)靜電地板結(jié)合等,都能有效控成本。作為長(zhǎng)三角區(qū)域資深實(shí)驗(yàn)潔凈工程服務(wù)商,CEIDI西遞提供從項(xiàng)目規(guī)劃設(shè)計(jì)到技術(shù)方案落地的一站式交鑰匙工程,多方位為客戶打造符合自身需求定位的專業(yè)工程,歡迎有需求的企業(yè)聯(lián)系我們【項(xiàng)目地點(diǎn)】:江蘇 南通
【項(xiàng)目面積】:0㎡
【項(xiàng)目成果】:南通瑞翔新材料有限公司(以下簡(jiǎn)稱:瑞翔新材)是專業(yè)從事新能源材料研發(fā)
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