凈化工程
生物醫(yī)藥凈化工程
醫(yī)院醫(yī)療凈化工程
精密制造凈化工程
推薦設(shè)備
400-666-1693
主題釋義： 電子特氣——是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體
主題釋義：
電子特氣——是指用于半導(dǎo)體
特氣的種類繁多
“將電子特氣列為國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展產(chǎn)業(yè)
我們以含氟特氣潔凈車間為例進(jìn)行討論
這也是依據(jù)中國電子特氣行業(yè)相關(guān)政策的要求
其實(shí)
我們先聊潔凈工程部分：
把握萬級(ISO 8級)與局部百級(ISO 5級)組合的技術(shù)方案
萬級部分實(shí)現(xiàn)建議：
氣流組織：換氣25-30次/h
局部百級實(shí)現(xiàn)建議：
可以通過充裝口、閥門連接處需設(shè)置百級層流罩(FFU+ULPA過濾器)來實(shí)現(xiàn)
電子特種氣體車間往往涵蓋甲類
甲類車間采用物理隔離與泄爆設(shè)計(jì)：
裝飾裝修：采用鋼筋混凝土防爆墻(耐火極限≥3h)分隔甲類區(qū)與非防爆區(qū)
通排風(fēng)：用EX認(rèn)證離心風(fēng)機(jī)+防靜電PVC風(fēng)管足組成防爆型排風(fēng)系統(tǒng)，維持12次/h換氣
，風(fēng)機(jī)入口加裝阻火器，風(fēng)管每15m設(shè)泄爆片，排風(fēng)口遠(yuǎn)離人員區(qū)域。噴淋系統(tǒng)與可燃?xì)怏w探測器聯(lián)動(dòng)。線路敷設(shè)：電纜選用阻燃銅芯電纜穿鍍鋅鋼管
，管口密封用防爆膠泥。橋架選用鋁合金材質(zhì)(無火花)，與非防爆區(qū)交界處設(shè)置防火隔斷。接地系統(tǒng)：獨(dú)立防靜電接地網(wǎng)(銅棒+降阻劑)
，與防雷接地間距≥20m;設(shè)備接地線采用6mm2黃綠雙色線，連接處鍍錫處理。乙類車間主要是采用壓力控制管控：
正壓控制與氧濃度管理
，可選FFU+高效過濾器(H14級)維持相對正壓(+5Pa~+10Pa)，氧氣濃度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控(報(bào)警閾值設(shè)定為23.5%vol)，與新風(fēng)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)稀釋。非防爆區(qū)：
采用常規(guī)裝飾裝修設(shè)計(jì)
此外
針對電子特氣車間的防腐要求
在半導(dǎo)體制造工藝邁向3nm節(jié)點(diǎn)的今天，電子特氣潔凈車間已不僅代表著獨(dú)立的氣體生產(chǎn)空間
，更是支撐產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施，是半導(dǎo)體Fab廠必備的配套工程，其潔凈廠房工程建設(shè)是一項(xiàng)高度專業(yè)化的系統(tǒng)工程，涉及防爆、防腐、潔凈度控制、溫濕度管理等多重要求(篇幅限制不能詳細(xì)列舉)。若您的企業(yè)有電子特氣或半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上下游工程建設(shè)需求，歡迎隨時(shí)聯(lián)系，我們將為您提供專業(yè)EPC工程解決方案，涵蓋規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試及驗(yàn)收全流程服務(wù)。
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